集成电路的研究，也并没有出现太大问题。
毕竟已经有了规划，按照规划往下走，一步步进行研究就可以，只不过光刻机的研究并不是那么顺利。
光刻机的研究已经定下了基调。
要研究接触式光刻机，除了触式光刻机外，在这年代还有接近式光刻机。
接触式光刻机它的优点就是结构相对简单，成本较低，并且因为掩模版和硅片紧密接触，所以光的衍射效应较小，这样就能得到相对较高的分辨率。
但也有缺点。
那就是掩模版与硅片表面的光刻胶会有直接接触，所以这就容易导致相互污染和磨损，让掩模版使用寿命大幅减少，必须要频繁更换。
接近式光刻机就不一样了。
它的研究出来的原因，就是因为解决接触式光刻机掩模版易损坏的问题，所以才有了接近式光刻机。
这样就能够提高掩模版的使用寿命，以及良品率。
但也有缺点，那就是容易导致系统的分辨率下降，不如接近式光刻机接触式光刻机。
可以说这两种光刻机，都是这个年代的主流，不过相比起来还是接触式光刻机更容易制造。
虽然接近式光刻机与硅片表，只有2.5-25微米的距离，但就是这么微小的距离，增加了机器制造的难度。
而像是后世的投影式光刻机、扫描投影式光刻机、步进重复式光刻机、步进扫描式光刻机 、浸没式光刻机、极紫外光刻机。
这些虽然更好用，但在这年代根本就制造不出来。
先不说后面几款光刻机，就算是投影式光刻机、扫描投影式光刻机，这两款计算机，都要等到70年代初才会被研究出来。
并且研究出来的难度，比起接触式光刻机难度不止增加了一倍。
李枭也不奢望其它，能在1970年代以前，研究出投影式光刻机就可以，这也就意味着追上了国际水平，不至于被落下。
“小枭你什么时候回来的？”，看到李枭，罗教授很高兴道。
“昨天刚到，罗教授，光刻机研究的怎么样了？”，在罗教授的办公室中，坐下后李枭问道。
“不太理想，中间遇上了问题，一直没找到解决的办法。”，提到正事，罗教授也是皱起眉道。
闻言李枭心里也跟着沉了沉，能让罗教授这般犯难的，绝不是小麻烦，也就道：“都有什么问题？”。
“那问题就太多了，我都有些头痛。”，罗教授叹了口气，伸手从抽屉里拿出两片透明的石英掩模，递给了李枭。
李枭接过去看了看，就看到上面那许多细密的划痕，罗教授也是这个时候开口道：“你先看看这个，这是上周刚做的掩模，才用了三次，表面就划成这样，现在用的掩模基板太薄，压的时候只要稍微没控制好，要么掩模裂了，要么晶圆表面被刮出印子，后续刻蚀出来的电路全是断口，良率连三成也达不到。”。
“有没有换厚一点的试试。”，李枭也是看着石英掩模，想了想道。
“试过了，基板加厚到2.5毫米，压力调到最低，但这样一来掩模和晶圆贴不紧，中间容易留气泡，曝光的时候气泡处的图形就会变形，线宽偏差能到2微米，差的太多根本就没办法用。” 。
说完罗教授又叹了口气道：“这还只是第一个问题，还有就是对准的事儿，这更让人闹心，我们只能靠人眼通过显微镜手动对准，但没有人能够一天全部精神力集中，
稍一分心套刻精度增大，有的偏差直接能飙到3微米，这也没有办法，人的精力有限，不可能每时每刻都保证高精度操作。
而最让人头痛的还是咱们的环境问题，不要说外面，就说实验室内，现在我们都无法保证千级洁净，空气中的灰尘落到掩模上，曝光后就是一个个黑点，有时候一批晶圆里，一半都因为灰尘报废了，
我们也想过办法，想着在操作台上加了个简易防尘罩，但结果通风，光刻胶固化速度变慢，曝光时间得延长两倍，效率低得吓人。”。
听着罗教授讲的这些，这一讲就是八九个问题，李枭也是皱起了眉，这些问题之前他也查过，但很多都没有太好的解决办法。
像是环境控制的问题，接触式光刻机要求的环境，在这个年代来讲，是比较苛刻的。
因为光刻的过程对于振动、温度波动甚至空气洁净度都非常敏感，这也是为什么要求在千级洁净的环境中制造。
但要知道想要达到千级洁净可没那么简单，所谓的千级洁净，要求的是每立方米直径≥0.5 μm 的悬浮颗粒不超过约35,200个。
这就需要通过控制空气中微粒、温度、湿度、压力等参数，来满足特定洁净需求。
而这种技术国内现在根本就制造不出来，至少也要等到几年后，才建立起千级洁净室，来进行军工、电子等的研究。
这个目前来讲没有太好的解决办法，只能够尽力去克服。
还有机械对准的问题也是一样，必须要精确控制掩模版与晶圆的平行度和接触压力，这样才能够让曝光区域内接触均匀，导致图形失真或局部不清晰。
否则要是压力不均或存在微小倾斜的话，都会导致出现问题。
但现在机械加工精度、自动化控制水平本来就有限，本就难以进行高精度的对准和均匀的接触压力。
这个也没有太好的解决办法， 毕竟工业水平就摆在这里，想要工业水平提升，那更是难上加难。
只能依靠人员的经验和手工调试。
可以说这一次光刻机的研究，直接挑战了精密机械加工、光学设计与制造、精密化学、自动控制以及超净环境构建等多个领域。
这些领域和机械设计不一样，机械设计的话，只要设计出来，加工精度足够，在不涉及到电子元器件的情况下，就能够给制造出来。
还有像是光刻胶技术，光刻胶的配制、曝光灵敏度均匀涂覆，以及显影效果，这些都直接关系到图形转移的质量，但国内现在对于这一项技术，还处于起步阶段。
是靠着量大的实验慢慢摸索，堆出来的成果，这些也是需要慢慢的研究，他也插不上手。
想到这些李枭也是跟着叹了口气道：“这些只能是慢慢的来了，急不得。”。
“也只有这样了。”，罗教授也是跟着道，感叹完了这一句，罗教授就又道：“对了，上个月上面要求我们设计一款，保密通信与数据加密的计算机，不过我们这边一直没多少头绪，你有没有什么想法？”。
“哦！保密通信。”，闻言李枭心道，也是惊讶了一下，毕竟前世国内也专门生产过类似的计算机，不过那要等到70年代去了。
但想想这一世计算机的研究提前了这么多年，李枭也就不再奇怪了。
而对于那款计算机李枭也看过一些资料，那款计算机前世是1970年至1974年期间，由电讯工程学院，为了国防重点工程研制专门研究的。
被称为930保密通信专用计算机。
它的主要作用就是用于战术保密通讯，就比如数字电话和语言的处理，可以说它是紧紧围绕国防保密通信，来进行研究的。
为此甚至加入了专用的硬件加密模块，这些模块与cpU紧密耦合，通过专用总线连接以确保加密解密运算的高速和安全。
这还只是一部分，其中还加入了保密通信协议和加密算法，把这些紧密联合起来。
这才形成了一个高度协同、稳定可靠的整机系统。
对于这台计算机，李枭并没想加入进去，不过罗教授一些提示还是没问题的。
听着李枭的讲述，罗教授最开始还只是点头，表示认可，和听着听着，就拿起笔，开始在纸上记录了起来。
他没有想到只是随口给李枭这么一说，李枭竟然就想到了这么多点子。
请大家记得我们的网站：品书中文(m.pinshuzw.com)四合院：我一心科研，重工强国更新速度全网最快。